结构特点：
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适用于高纯应用
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FSR 连接
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内部无弹簧设计
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膜片式硬密封
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经氦气测试
材质：
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母体：316L
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阀座：PCTFE
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膜片：Elgiloy®
功能特性：
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流量：Cv 0.17
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母体泄漏率：1×10-9 atm cc/sec He
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阀座泄漏率：4×10-9 atm cc/sec He
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设计验证：最大工作压力的150%
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设计爆破：最大工作压力的400%
工作条件：
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最大工作压力：300 psi (20 bar)
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最小工作压力：真空
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温度：-40°C~65°C (40°F~150°F)
气体执行器：
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操作压力：70~125 psi
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入口连接：1/8" NPT(F)
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工作状态：常闭、常开
表面加工：
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标准 Ra 20µin
安装尺寸图：
