U23系列减压器
U23系列减压器适用于大流量应用,特别适用于高纯低压系统。膜片和阀体的密封采用了硬密封的设计,降低泄漏率,同时提高了安全性和使用寿命。
结构特点:
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316L 不锈钢母体
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膜片式硬密封,泄漏率低
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可采用面板安装和后座安装
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压力表标准连接: 1/4” FSR (M)
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可选:1/4” FSR (F)
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内部电解抛光
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高清洁的组装和包装适用于高纯洁度的半导体产业
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使用寿命长
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经过氦气测试
材质:
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母体:316L
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阀座:PCTFE, Vespel®
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膜片:316L, 哈氏合金
功能特性:
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流量:Cv=1.8
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母体泄漏率:2×10-9 atm cc/sec He
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阀座泄漏率:4×10-8 atm cc/sec He
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设计验证压力:最大额定压力的150%
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设计爆破压力:最大额定压力的400%
工作条件:
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最大进气压力:500, 3000 psi
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最大出气压力:25, 50, 100, 150 psi
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工作温度:-40°C ~ 74°C (-40°F ~ 165°F)
流道表面:
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标准:Ra 20µin
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可选:Ra 10µin
内部容积:
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59.9 cc
流量特性曲线
安装尺寸图
